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半导体集成电路的高速发展是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。半导体车间整体设计及施工的范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道
