所谓电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。
单向流电子净化车间（1-100级）
1-100级的电子厂净化车间，均采用单向流的气流组织送风方式，即电子净化车间内的气流在同一截面的任意一点，气流的方向和速度均保持一致，这样可以使清洁空气像“活塞”一样，将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。要实现“活塞”的效果，高效过滤器需要布满屋顶才可实现单向流的气流组织方式。
非单向流电子净化车间（1000-10万级）
1000-10万级电子净化车间的气流组织方向和100级以上的电子厂净化车间不同，室内的气流是以不均匀的速度呈不平行流动的，伴有回流或涡流，它主要靠洁净的气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，来实现净化。不同的净化等级，主要是依靠单位时间内所送风量的不同来实现的。
