半导体集成电路的高速发展是洁净度等级的扩大和控制微粒粒径日益严格的重要标志。
半导体车间整体设计及施工的范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA级管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。
半导体洁净车间的标准规范主要有：
1.GB50073洁净厂房设计规范
2.GB50457医药工业洁净厂房设计规范
3.GB50472电子工业洁净厂房设计规范
4.GB50591洁净室施工及验收规范
5.GB50333医院手术部建筑技术规范
6.GB50346生物安全实验室建筑技术规范
